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半导体行业工艺设备如何做CMK

对于半导体生产企业,涉及设备有扩散炉、光刻机、蒸发设备,工艺设备的CMK如何做?不是加工设备,或者,其产品的参数不便检测时,如何计算设备的过程能力指数?
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小书童110 (威望:74) (江苏 苏州) 机械制造 质量经理 - 生命不止,奋斗不息。

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1, 设备也分,关键设备,重要设备,一般设备。 和客户沟通先确定下来
 
2, 一台设备上有很多参数需要控制, 那么,那个参数也是需要确定下来的
 
3, 特性确定, 样本大小, 取样方法, 所以,需要做的还很多!

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