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半导体行业工艺设备如何做CMK

对于半导体生产企业,涉及设备有扩散炉、光刻机、蒸发设备,工艺设备的CMK如何做?不是加工设备,或者,其产品的参数不便检测时,如何计算设备的过程能力指数?
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