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洁净室粒子管理

关于洁净室的管理想和各位请教一下,关于洁净度的管理是如何控制的。
目前我们公司的洁净车间通过使用粒子计数器进行测量,测量的粒子大小从0.3~10um,但是实际上发现虽然测量的数据很小,但是可见的颗粒仍然存在,大部分处于静止状态落在桌面或设备上,越来越感觉通过仪器测量出来的数据对现场没有指导意义。单凭肉眼去观察现场又觉得不可行,因为没有量化的数据,主观感觉太强了。
不知各位是如何进行洁净室粒子数进行管理的?请不吝赐教!
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funmaytan (威望:0) (广东 深圳) 电子制造 经理

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我们公司是无尘车间,也是用粒子测试仪监控,0.5um的点可小于35个,基本达到千级的标准了。但我们的做法是针对环境要求高的工序再增加FFU,用静电帘跟其它区域隔开,并且此区域都设定在车间的高效出口下,可形成正压空间,效果很好。
以上供参考

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