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failure mode analysis

Failure Mode Analysis
Step 1. 缺點現象分類
PQE將收集到之報廢/缺點板,依據缺點現象(Ex.形狀、位置、大小…etc.)分類,每類缺點現象應包含
(a) 缺點名稱 :經Group討論後,決定給予該缺點現象之名稱。
(b) 缺點現象定義 :對該缺點現象之描述或特徵說明。
(c) 缺點現象照片 :缺點外觀照片應要使人能理解「缺點現象定義」中的敘述及特徵。
(d) 缺點現象切片 :用以補強及說明缺點現象。必要的話,需再進行SEM/EDS分析。
(e) 可能原因(造成原因):Group根據缺點現象討論出的可能原因。(於進行完複製實驗或已找到製程Failure mode後,經Eng.lot approved後將異常原因填入)
(f) 可能異常製程範圍 :Group由缺點現象所推論出的可能造成異常的製程或作業單元範圍,用來配合「製程流程查檢表」找出製程failure mode。
(g) 備註 :說明對缺點現象進行量測之結果(銅厚、長度、…etc.)
Step 2. 柏拉圖說明
缺點分類完成後,PQE需持續分析缺點板,並將層別結果製作成柏拉圖,找出目前造成異常的最大貢獻為哪幾類缺點型態。
* 一張標準的柏拉圖應有
(a)標題:清楚說明此張柏拉圖內容之主題。
(b)數據:原則上,應將此圖之數據附加於柏拉圖下以利判斷。
(c)資料來源:說明數據資料的來源。例如:FIT目視檢驗
(d)資料範圍:說明數據資料收集的時間段。例如:11/1~11/20
(f)comments:說明從這張柏拉圖可以判讀出的訊息。例如:?%的貢獻是來自於….
Step 3. 堆疊圖說明/現象層別
1.以堆疊圖說明缺點率變化的趨勢,並check各類缺點現象的貢獻度是否穩定,如有異常之惡化或改善(Pick點),PQE應了解變化原因並作異常說明。
* 一張標準的堆疊圖應有
(a)標題:清楚說明此張堆疊圖內容之主題。
(b)異常說明:對於堆疊圖上異常之變化(惡化、改善)應做原因說明。
(c)數據:原則上,應將此圖之數據附加於堆疊圖下以利判斷。
(d)規格:應計算各型failure mode的baseline區間提供判斷趨勢。
(e)資料來源:說明數據資料的來源。例如:FIT目視檢驗
(h) comments:說明從這張堆疊圖可以判讀出的訊息。例如:XXX型failure mode不穩定、惡化、正常….
缺點現象層別:
對以收集到之缺點板於做完缺點現象分類後,PQE可繼續對缺點板進行層別如:時間/班別
、位置/面次別、物料/設備/站別、人員別…….etc.,找出缺點板於製程是否有相關性。
* 一張標準的層別圖應有
(a)標題:清楚說明此張層別圖內容之主題。
(b)數據:應將各項層別因子之比例附加於圖中以利判斷。
(c)資料來源:說明數據資料的來源。例如:FIT目視檢驗
(d)資料範圍:說明數據資料收集的時間段。例如:11/1~11/20
(e)comments:說明從這張層別圖可以判讀出的訊息,需考慮數據資料背景可能造成的顯著差異。例如:有明顯面次化集中於L1
Step 4. 找尋製程Failure mode
Group成員依據第一階段的failure mode分析,開始從可能原因、可能異常製程範圍及缺點板層別結果討論找出「製程failure mode」的計畫。
製程流程查檢表:
(a) 對每種failure mode(缺點現象)分別列出可能造成異常之製程或作業單元。
(b)【可能性】由Group成員以brain-storming方式決定,’’○’’代表high risk,’’△’’代表low risk,’’×’’代表無可能。
(c )PQE依據risk高低的順序對於每個可能之製程或作業單元擬定收集資料之計劃,透過檢驗的方式找出可疑的缺點現象。
(d)檢驗出的可疑缺點現象,需將缺點板與failure mode的缺點現象做形狀、大小的比對(Mapping),確認Mapping的結果與最終缺點現象接近。
(e)針對Mapping後之缺點板,依正常流程在製程中複製,check是否可發現與failure mode相同缺點現象,若複製成功,即可將此缺點現象定義為「製程Failure mode」。
*若不同的「製程Failure mode」會造成相似的最終缺點現象,則須考慮是否重新定義failure mode(增加缺點分類),確定後分析其貢獻度,作為改善的依據。
*若有不同製程或作業單元會產生相同之「製程Failure mode」,仍須分析其製程貢獻度,作為改善的依據。
PQE對先前分析之Failure mode,依據複製的結果定義出「製程Failure mode」,根據製程failure mode,PQE應重新檢視先前定義的缺點類型是否重複或不清楚,若有此類情況,PQE需重新定義缺點,重做柏拉圖/堆疊圖分析。並以此作為先期指標,設立管制點,以期快速掌握資料。

因製程特性無法透過複製實驗找到製程Failure mode的情況,應考慮是否直接進入缺點WnSn。
例:”浸金後剝金”已將問題focus在鎳槽至金槽間有異常,但因連續生產因素無法透過檢驗方式了解鎳槽後有何問題,則經由主管approved直接進入此剝金缺點之Wn-Sn。
Step 5. 製程failure mode之Wn展開
    [] Group以設備檢查的角度,檢討異常設備/制程的作業方式、作業規定,是否現行的作業規定[/]
有疏式(KLM﹕PE)?還是未到達作業規定之標準(KLM﹕PD)
2. 若設備查檢無法找到Root cause,PE根據「製程Failure mode」的結果,對各項目展開Wn-Sn,若有不同製程造成相同「製程Failure mode」,則應以(製程+製程failure mode)的方式分別展開Wn-Sn。(若缺點類型太多,則優先展開柏拉圖分析的前80%)
例:「浸金線前處理段為何產生黑色異物污染板面」之WnSn
Step 6. 依7-Step繼續改善
(a)PE依據「製程Failure mode」Wn-Sn所得結果,找出Solution,擬定改善對策。
(b)所有改善對策必須經由Engineering lot的approved。
(c)根據Engineering lot的改善結果,PQE應依據對策的實施狀況預估time-yield chart。
(d)所有對策PQE須確認是否已CCB/System in /Design in。
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lovme (威望:2) - 好的

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清晰明了,评1分,继续努力啊!!

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