偏移、线性分析所适用的设备

什么样的设备适合进行偏移和线性的分析？
客户建议我们对ADE7200硅片自动测量系统进行偏移和线性分析，这台设备用于测量硅片的厚度和电阻率，针对不同范围的厚度或电阻率我们用标准样片进行校准后测量，如测100um左右，500um左右的硅片，分别用样片校准后再进行测量。这样的设备是否适合进行偏移线性分析？再进行分析是否没有意义？是否是测量范围比较宽，不同范围档不能校准，为评价其设备状态，并对不同档位进行修正时才适合做？
请高手指点，并说明理论依据，非常感谢！急！