半導體名詞解懌TE版 -- 转子武陵缘论坛

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Acetone丙酮1. 丙酮是有機溶劑的一種，分子式為CH3COCH32. 性質：無色，具剌激性薄荷臭味之液體3. 用途：在FAB內之用途，主要在於黃光室內正光阻之清洗、擦拭4. 毒性：對神經中樞具中度麻醉性，對皮膚粘膜具輕微毒性，長期接觸會引起皮膚炎，吸入過量之丙酮蒸氣會刺激鼻、眼結膜、咽喉粘膜、甚至引起頭痛、噁心、嘔吐、目眩、意識不清等。5. 允許濃度：1000ppm
AEI蝕刻後檢查1. AEI 即After Etching Inspection，在蝕刻制程光阻去除後，分別對產品實施主檢或抽樣檢查。2. AEI之目的有四：a. 提高產品良率，避免不良品外流。b. 達到品質的一致性和制程之重複性。c.