宏观工艺图

• 为什么要用宏观工艺图？

  • 展示总体布局
  • 帮助定义宽广的项目寻找集中点
  • 确认后端缺陷的前端来源

• 宏观工艺图的一些要素：

  • 主要工艺步骤
  • 主要工艺步骤中的产品标准
  • 对各主要工艺步骤的单位缺陷数（DPU），平均生产成品数（RTY），劣质产品成本（COPQ），循环周期（CYCLE TIME）等的估计
  • 表明需研究的工段

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