· ISO 14644-1：C_n=10^N·(0.1/D)^2.08 粒/m³，反解等级 N；并换算 ≥0.5µm/ft³ → FS209E 等级。

· 1 ft³=0.0283168 m³；常见对应：ISO5≈Class100、ISO6≈1000、ISO7≈10000、ISO8≈100000。