关于测量系统不稳定的一些处理措施

我们针对公司内的一台膜厚测量仪器实施稳定性分析，实施周期为5天，每天不同时段针对标准样品测量4次，收集了20组数据，使用x-bar控制图分析，从结果上看，有几个点超出了控制限，分析的原因是认为设备存在不稳定，与制造商联络，认为设备状态水准即如此，目前的处理措施：
1.确定可能的不稳定带来的偏倚大小，
2.确定此偏倚与制品公差的比例，1/20原则，
3.确定制程ppk大小，大于1.67
4.针对关键制程实施日常监控，监测偏倚是否有恶化趋势

在上述参数满足的情况下，设备正常使用，关于这些措施，还请大家指正一下！