failure mode analysis

Failure Mode Analysis
Step 1. 缺點現象分類
PQE將收集到之報廢/缺點板，依據缺點現象(Ex.形狀、位置、大小…etc.)分類，每類缺點現象應包含
(a) 缺點名稱 ：經Group討論後，決定給予該缺點現象之名稱。
(b) 缺點現象定義 ：對該缺點現象之描述或特徵說明。
(c) 缺點現象照片 ：缺點外觀照片應要使人能理解「缺點現象定義」中的敘述及特徵。
(d) 缺點現象切片 ：用以補強及說明缺點現象。必要的話，需再進行SEM/EDS分析。
(e) 可能原因(造成原因)：Group根據缺點現象討論出的可能原因。(於進行完複製實驗或已找到製程Failure mode後，經Eng.lot approved後將異常原因填入)
(f) 可能異常製程範圍 ：Group由缺點現象所推論出的可能造成異常的製程或作業單元範圍，用來配合「製程流程查檢表」找出製程failure mode。
(g) 備註 ：說明對缺點現象進行量測之結果(銅厚、長度、…etc.)